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DC-Sputterstromversorgungen GS 05 - GS 30
Die kompakten Geräte sind für kleinere Magnetrons in Produktions- und Laboranlagen entwickelt worden. Durch die einfache und sichere Bedienbarkeit können die Stromversorgungen sehr flexibel eingesetzt werden. Das Arc-Handling paßt sich unterschiedlichen Prozeßparametern automatisch an, so daß kein Programmieraufwand notwendig ist. Die Geräte sind für den Einbau in 19"-Baugruppenträger konzipiert.
- Ausgangsleistung 0,5 – 3,0kW
- Luftkühlung
- ½ 19″–Einbaugehäuse, 3 HE
- Austauschbare Schnittstellenmodule
- Digitalanzeigen für Spannung, Strom und Leistung
- Manuelle Bedienung über Frontpanel
- Automatisches Arc-Handling