Speziell für empfindliche Schichten

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DC-Stromversorgungen HXF 150 - HXF 300

bis 30 kW Datenblatt HXF 150 - 300 (392.28 KB)

Die HXF ist speziell für das Sputtern von empfindlichen Schichten geeignet. Das vollautomatische Arc-Handling reduziert die Arc-Energie auf unter 0,3mJ / kW. Die HXF ist elektrisch und mechanisch kompatibel mit den Stromversorgungen vom Typ HX und besitzt ebenfalls eine Schnittstelle für den Betrieb von Pulsgeneratoren.
Das äußerst kompakte Gerät kann in beliebiger Einbaulage in die Anlage integriert werden. Ein leistungsfähige Wasserkühlung sorgt auch in nicht klimatisierten Räumen für höchste Zuverlässigkeit. Zur Vermeidung von Kondenswasser kann ein externes Magnetventil über die integrierte Temperatursteuerung angeschlossen werden. Die Ausgangsleistung läßt sich im Parallelbetrieb bis auf 240 kW steigern.

Highlights
  • Ausgangsleistung 15 kW - 30 kW
  • Parallelbetrieb bis 240 kW
  • Wasserkühlung
  • Magnetventilsteuerung
  • Interner Lüfter mit Partikelabscheider
  • ½ 19"-Gehäuse
  • Flanschmontage
  • M8-Gewinde mit Kranöse
  • Schwenk- und abnehmbares Display
  • Automatische Arc-Löschung

 

Frontansicht HXF 150 - HXF 300 in horizontaler Lage
Rückansicht HXF 150 - HXF 300 in horizontaler Lage
HXF 150 - HXF 300 mit schwenkbarem Display, für den Einbau in vertikaler Lage
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