Das ADL Pulssystem - Bipolar Sputtern

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Bipolar Pulsgeneratoren: Weltweit der Standard für reaktive Prozesse

Weniger Arc-Energie, kein Crazing

ADL DC-Stromversorgungen (HX/GX) können mit einem bipolar Pulsgenerator (SB) über die Schnittstelle X4P kombiniert und die Anlage somit flexibel mit DC oder wahlweise AC betrieben werden. Die Synchronisation mehrerer Geräte im Master/Slave- oder Parallel-Betrieb ist bis zu 240 kW möglich. Das kompakte Design der Pulsgeneratoren von ½ 19“ Design erlaubt den direkten Einbau an der Vakuumkammer!

Höherer Wirtschaftlichkeit gegenüber veralteter Sinustechnik

Das ADL-Pulserdesign erreicht eine sehr präzise Spannungskontrolle bei Reaktivprozessen! Der Duty Cycle der beiden Kathoden ist einstellbar von 50:50 % bis 10:90 % und macht symmetrisches wie asymmetrische Sputtern möglich. Das exzellente, super schnelle und vollautomatische Arc-Management mit einer geringen Arc-Energie kleiner 0,3 mJ / kW und einer Prozessreproduzierbarkeit besser als 1 % garantiert hervorragende Schichtergebnis.

Wie alle ADL-Stromversorgungen sind auch die Pulssysteme wartungsfrei, sie fallen extrem selten aus und bieten durch geringste Folgekosten ein Preis-/Leistungsverhältnis, das absolut konkurrenzfähig ist.

Links: Zwei in Einem - GXB kombiniert DC und Bipolar Pulsgenerator in einem Gerät, Mitte: Frontansicht Bipolar Pulsgenerator SB, rechts: Frontansicht Bipolar Pulsgenerator HXB - für große Leistungen.
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