Präzisionsoberflächen für die Mikroelektronik

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Spezialgeräte für Ionenquellen - optimiertes Prozessdesign

Datenblatt Stromversorgungen für Ionenquellen (381.9 KB)

Für den Betrieb von Ionenquellen (Kaufmann und ECR) stehen verschiedene Spezialgeräte zur Verfügung, die auf Anfrage auch mit anderen Ausgangsspannungen oder Leistungen angeboten werden können. Alle Geräte sind wahlweise mit einer AS 4 -Schnittstelle, Profibus, EtherCAT oder RS 232/485 ausgestattet.

  • Große Einsatzmöglichkeiten bei Ionenstrahl- und Plasmaprozesstechnologien
  • Ätzen, Sputtern und viele mehr
  • Innovative Anwendungen, unter anderem in der Mikroelektronik, Optik, Sensoren
Accelerator GG 03, GG 03.1, GG 08
Beam GG 12, GG 12.1
Neutralizer GIP 10, GIP 10.1
Discharge GDI 09
Cathode GC 10
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