Präzisionsoberflächen für die Mikroelektronik

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Produkte & Zubehör Stromversorgungen für Ionenquellen

Datenblatt Stromversorgungen für Ionenquellen_012022 (395.6 KB)

Für den Betrieb von Ionenquellen (Kaufmann und ECR) stehen verschiedene Spezialgeräte zur Verfügung, die auf Anfrage auch mit anderen Ausgangsspannungen oder Leistungen angeboten werden können. Alle Geräte sind wahlweise mit einer AS 4 – Schnittstelle, Profibus, EtherCat oder RS232/485 ausgestattet.

Highlights
  • Große Einsatzmöglichkeiten bei Ionenstrahl- und Plasmaprozesstechnologien
  • Ätzen, Sputtern und viele mehr
  • Innovative Anwendungen, unter anderem in der Mikroelektronik, Optik, Sensoren

Accelerator GG 03, GG 03.1, GG 08

      Beam GG 12, GG 12.1

      Neutralizer GIP 10, GIP 10.1

Discharge GDI 09

      Cathode GC 10

Kontakt
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